超高纯阀门 

用于原子层处理

原子层沉积 (ALD) 阀

■ 高速执行下的超高循环寿命 

■ 从 0.27 至 1.7 的 Cv 范围 

■ 耐热执行器，浸没温度高达 200°C (392°F)

■ 电子或光学执行器位置传感选购件 

■ 适合采用 316L VIM-VAR 不锈钢阀体的超高纯应用场合 

■ 模块化表面安装、卡套管对焊和 VCR® 端接